檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "王文".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="反應性濺鍍"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
本研究主要以反應性濺鍍來成長NbNx薄膜於銅-矽基材多層膜系統中擴散阻障層失效機制的研究。觀察N2/Ar流量比對NbNx薄膜之沈積速率、N/Nb原子比、結晶結構、電阻率及表面型態之影響。實驗結果顯示…